Grupul de cercetare al cercetătorului Yang Liang de la Institutul Suzhou pentru Studii Avansate la Universitatea de Știință și Tehnologie din China a dezvoltat o nouă metodă pentru producția de micro-nano cu oxid de metale, care a realizat imprimarea cu laser a structurilor semiconductoare ZNO cu precitatea submicronului și a combinat-o cu scrisul de microelect, pentru prima dată, pentru prima dată, pentru prima dată, cu imprimarea lasului metalic, pentru prima dată Circuite precum diode, triode, memristori și circuite de criptare, extinzând astfel scenariile de aplicare ale procesării micro-nano laser în domeniul microelectronicii, în electronice flexibile, senzori avansați, MEM-uri inteligente și alte domenii au perspective importante de aplicare. Rezultatele cercetării au fost publicate recent în „Nature Communications” sub titlul „Microelectronică tipărită laser”.
Imprimat Electronics este o tehnologie emergentă care folosește metode de imprimare pentru fabricarea produselor electronice. Acesta îndeplinește caracteristicile flexibilității și personalizării noii generații de produse electronice și va aduce o nouă revoluție tehnologică industriei microelectronice. În ultimii 20 de ani, imprimarea cu jet de cerneală, transferul (lift) indus de laser sau alte tehnici de imprimare au făcut progrese excelente pentru a permite fabricarea dispozitivelor microelectronice organice și anorganice funcționale, fără a fi nevoie de un mediu cu curat. Cu toate acestea, dimensiunea tipică a caracteristicilor metodelor de imprimare de mai sus este de obicei de ordinul zecilor de microni și necesită adesea un proces de post-procesare la temperaturi ridicate sau se bazează pe o combinație de procese multiple pentru a realiza procesarea dispozitivelor funcționale. Tehnologia de prelucrare a micro-nano laser utilizează interacțiunea neliniară între impulsurile laser și materiale și poate obține structuri funcționale complexe și fabricarea aditivă a dispozitivelor dificil de realizat prin metode tradiționale cu o precizie de <100 nm. Cu toate acestea, cea mai mare parte a structurilor actuale cu laser micro-nano-fabricate sunt materiale unice polimerice sau materiale metalice. Lipsa metodelor de scriere directă cu laser pentru materialele semiconductoare face, de asemenea, dificilă extinderea aplicației tehnologiei de procesare a micro-nano laser în domeniul dispozitivelor microelectronice.

În această teză, cercetătorul Yang Liang, în cooperare cu cercetătorii din Germania și Australia, imprimarea laser a dezvoltat inovativ ca tehnologie de imprimare pentru dispozitive electronice funcționale, realizând semiconductor (ZnO) și conductor (imprimarea laserului compus la diferite materiale, cum ar fi PT și AG) (Figura 1), și nu necesită orice dimensiune de procesare de la nivel înalt de procesare. Această descoperire face posibilă personalizarea proiectării și imprimării conductoarelor, semiconductorilor și chiar a aspectului materialelor izolante în funcție de funcțiile dispozitivelor microelectronice, ceea ce îmbunătățește considerabil precizia, flexibilitatea și controlabilitatea dispozitivelor microelectronice de imprimare. Pe această bază, echipa de cercetare a realizat cu succes scrierea cu laser integrată cu diode, memristori și circuite de criptare non-reproductibile fizic (figura 2). Această tehnologie este compatibilă cu imprimarea tradițională cu jet de cerneală și alte tehnologii și este de așteptat să fie extinsă la imprimarea diverselor materiale de oxid de metal semiconductor de tip P și N, oferind o metodă sistematică nouă pentru procesarea dispozitivelor microelectronice funcționale complexe, pe scară largă, tridimensionale, funcționale.

Teză: https: //www.nature.com/articles/S41467-023-36722-7
Timpul post: 09-2023 MAR